CIS FORSCHUNGSINSTITUT FÜR MIKROSENSORIK GMBH
J122
J122

Kundenspezifische MEMS-Sensorelemente
MÉTROLOGIECapteurs et systèmeNous développons des éléments de capteurs MEMS personnalisés pour les grandeurs mécaniques et optiques par l'intégration monolithique de fonctions sensorielles. Notre expertise porte sur la microstructuration double face et tridimensionnelle ainsi que sur le dépôt de couches fonctionnelles sur ...